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7NS 自动再生纯化系统  经济型气体纯化系统
产品简介
  • 7NS系列经济型气体纯化系统由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由两个并联的催化剂气体纯化单元和一系列气动阀门所组成。纯化单元中内置了过滤精度为20微米的颗粒过滤器,采用化学反应与物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H2O,CO2、NMHC等杂质去除至10ppb以下。电控部分主要由PLC、温度控制器和显示屏等所组成,负责控制系统的纯化、再生和安全报警等过程。
应用范围
  • 集成电路制造
  • 光电元器件制造
  • 太阳能电池制造
  • 大宗气体纯化
产品特点
  • 流量为10-200Nm3/h的各种型号
  • 双纯化柱设计,饱和后原位自动再生
  • 316L不锈钢管件,VCR气体接头
  • 内置20微米过滤器
  • 全程自动运行,持续供气
  • 出口气体中各杂质含量小于10ppb
纯化指标
杂质 惰性气体-I 氧气-O 氢气-H
H2O <10ppb <10ppb <10ppb
O2 <10ppb <10ppb
CO <10ppb <10ppb
CO2 <10ppb <10ppb <10ppb
H2 <10ppb <10ppb*
CH4 <10ppb* <10ppb*
NMHC <10ppb <10ppb <10ppb

注: * 需配选件
型号说明
型号 010 020 030 040 060 100 150 200
额定气体流量(NM3/h) 10 20 30 40 60 100 150 200
最大气体压力 1.0MPa
最大气体压差 0.2MPa
内置颗粒过滤器 20 μm 316L SS
进/出气口接头 1/4”VCR 1/2”VCR 3/4”VCR 1”VCR
再生气体入口接头 1/4”VCR
再生气体出口接头 1/4”卡套
机柜外形尺寸
(WxDxHmm)
650x685x1600 650x 685x1750 1000x685x1750 1500x685x1800
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