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9NG Getter纯化器  高性能气体纯化器(高温吸气剂纯化技术)
产品简介
  • 9NG系列高性能气体纯化器采用的是高温吸气剂技术,通过化学反应的方法在高温下将工艺气体中的H2O、CO2、碳氢化合物等杂质去除到1ppb以下,并且在内表面电化学抛光的316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003um的颗粒过滤器。
应用范围
  • 集成电路制造
  • 半导体工艺设备
  • 超高纯气体分析,如气相色谱仪,常压离子质谱仪等
  • 超高纯气体和标准气体生产
  • 科研和产品开发
产品特点
  • 流量为1-500slm的各种型号
  • 电化学抛光316L不锈钢管件,VCR气体接头
  • 内置0.003微米过滤器
  • 可以从稀有气体和氮气中去除甲烷
  • 可以从稀有气体和氢气中去除氮气
  • 出口气体中各杂质含量小于1ppb
纯化指标
杂质 氢气-H 氮气-N 稀有气体-R
H2O <1ppb <1ppb <1ppb
O2 <1ppb <1ppb <1ppb
CO <1ppb <1ppb <1ppb
CO2 <1ppb <1ppb <1ppb
H2 <1ppb <1ppb
N2 <1ppb <1ppb
CH4 <1ppb <1ppb
NMHC <1ppb <1ppb <1ppb
型号说明
型号

9NG001

9NG005

9NG030

9NG150

9NG300

9NG500
额定气体流量 1slm 5slm 30slm 150slm 300slm 500slm
最大气体压力 1.0MPa
最大气体压差 0.1MPa
内置颗粒过滤器 0.003 μm 316L SS
进/出气口接头 1/4”VCR

3/8”VCR

1/2”VCR

进/出气口距离L

14.8”
(375mm)

17.5”
(443mm)

7.0”
(178mm)

机柜详细尺寸
请与亚游官网联系
纯化器外径D 126mm 126mm

163mm

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