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9NP Catalyst POU纯化器  高性能气体纯化器(常温催化剂纯化技术)
产品简介
  • 9NP系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术,通过化学反应和物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H2O、CO2、NMHC等杂质去除到1ppb以下,并且在内表面电化学抛光的316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003um的颗粒过滤器。
应用范围
  • 半导体工艺设备,如CVD,MOCVD,硅外延等
  • 集成电路制造
  • 吹扫气体及零点气体纯化
  • 科研和产品开发
产品特点
  • 常温下使用
  • 流量为1-1000slm的各种型号
  • 内置0.003微米过滤器
  • 出口气体各杂质含量小于1ppb
  • 可以由原厂再生
  • 使用成本低廉
纯化指标
杂质 惰性气体-I 氧气-O 氢气-H
H2O <1ppb <1ppb <1ppb
O2 <1ppb <1ppb
CO <1ppb <1ppb
CO2 <1ppb <1ppb <1ppb
H2 <1ppb
NMHC <1ppb <1ppb <1ppb
型号说明
型号 9NP001
9NP003 9NP050 9NP300

9NP300-8L

9NP999
额定气体流量 1slm 3slm 50slm 300slm

300slm

1000slm
最大气体压力 1.0MPa
最大气体压差 0.1MPa
内置颗粒过滤器 0.003 μm 316L SS
进/出气口接头 1/4”VCR 1/2"VCR
进/出气口距离L 3.3”
(84mm)
4.5”
(114mm)
7.9”
(202mm)
17.3”
(440mm)

20.0”
(508mm)

28.2”
(716mm)
纯化器外径D 1.5” 1.5” 3” 4”

4”

6"
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