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9NS-HF 大流量纯化系统  大流量气体纯化系统
产品简介
  • 9NS-HF系列大流量气体纯化系统主要应用于大规模集成电路、光电器件、MEMS制造和大尺寸晶圆生产中的工艺气体纯化。该系列大流量气体纯化系统由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由多个并联的催化剂气体纯化单元和一系列气动阀门所组成,并配置了过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器,采用化学反应与物理吸附相结合的方法在常温下将气体中的H2O, CO2, NMHC等杂质去除到1ppb以下。电控部分主要由PLC、温度控制器和触摸屏等所组成,负责控制系统的纯化、再生和安全报警等过程。
应用范围
  • 集成电路制造
  • 光电元器件制造
  • 大宗气体纯化
产品特点
  • 流量为300-2000Nm3/h的各种型号
  • 纯化柱设计,饱和后原位自动再生
  • 电化学抛光316L不锈钢管阀件
  • 内置0.003微米过滤器
  • 全程自动运行,持续供气
  • 出口气体中各杂质含量小于1ppb
纯化指标
杂质 惰性气体-I 氧气-O 氢气-H
H2O <1ppb <1ppb <1ppb
O2 <1ppb <1ppb
CO <1ppb <1ppb* <1ppb
CO2 <1ppb <1ppb <1ppb
H2 <1ppb <1ppb*
CH4 <1ppb* <1ppb*
NMHC <1ppb <1ppb <1ppb

注: * 需配选件
型号说明
型号 300 400 600 800 1000 1500 2000
额定气体流量(NM3/h) 300 400 600 800 1000 1500 2000
最大气体压力 1.0MPa
最大气体压差 0.1MPa
内置颗粒过滤器 0.003 μm PTFE
进/出气口接头 32A Flange 50A Flange 65A Flange
再生气体入口接头 1/4”VCR 1/2”VCR
再生气体出口接头 3/8卡套 1/2”卡套
机柜外形尺寸
(WxDxHmm)
1600x1335x2000 2200x1335x2000 2200x2000x2200 3000x2000x2200
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